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1
1.
一种新颖的光罩可制造性规则检查方法与系统
李峥
程秀兰
黄荣瑞
《半导体技术》
2007,32(3):238-240
介绍了一种较为先进的光罩可制造性规则检查的方法及其系统构成.实验结果表明,通过整合各种EDA工具,在光罩检验前就可发现这些可能给光罩检验造成困难的图形,为后续光罩检验步骤提供参考,显著提高了光罩检验的效率.
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