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文章研究了BF2^ 注入对PMOS晶体管开启电压的影响,试验发现,在我们的工艺条件下,BF2^ 注入能量是影响PMOS管开启电压的主要因素,能量高于67.5kev的BF2^ 注入可导致开启电压正漂,而退火对开启电压正漂没有影响,F离子也没有促进B穿透。 相似文献
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