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采用粘塑性有限元焊球模型以及大形变理论研究了三维多芯片组件(3D-MCM)的翘曲形态特征及其成因,结果表明基板腔室的存在使埋置式基板形成了双弓形翘曲形态,焊球的粘塑性使组件在温度循环中出现了翘曲回滞现象.基板中心空腔能改变基板翘曲形态,有利于减小基板翘曲,并有利于提高倒扣焊器件的热机械可靠性.底充胶能够增强3D-MCM的互连强度,并且能够有效降低3D-MCM温度循环后的残留翘曲度.底充胶的热膨胀系数(CTE)过高可能引发3D-MCM新的失效模式.3D-MCM的云纹干涉实验结果与数值分析结果相符较好. 相似文献
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A novel electroplating indium bumping process is described,as a result of which indium bump arrays with a pitch of 100μm and a diameter of 40μm were successfully prepared.UBM(under bump metallization) for indium bumping was investigated with an XRD technique.The experimental results indicate that Ti/Pt(300(?)/200(?)) has an excellent barrier effect both at room temperature and at 200℃.The bonding reliability of the indium bumps was evaluated by a shear test.Results show that the shear strength of the ind... 相似文献
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铟凸点阵列通常被用于焦平面阵列与硅的读出电路间的倒装互连中。铟凸点制备技术是焦平面探测器制备的关键技术之一。本文阐述了一种基于电镀的铟凸点制备工艺流程;基于此流程,实验中成功制备出间距为100um,UBM直径为40um的16*16的焊球阵列。同时,实验中利用XRD技术对Ti/Pt对铟的阻挡性做出了研究,结果表明,Ti/Pt (300Å/200Å)在室温和200°C的温度下对铟均具有良好的阻挡性能。利用剪切力实验对铟凸点的可靠性做出了研究,实验结果表明,经过一次回流后,铟凸点的剪切有极大的变化,但之后增加回流次数,其剪切力变化不大,此现象可能与电镀铟内部的织构有关.本文也讨论了铟凸点的倒装工艺。 相似文献
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