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曝光剂量精度是光刻工艺中重要的控制参数,从剂量控制模型出发,分析了影响剂量精度的因素并建立误差模型,进一步将需求指标分解到各误差项,作为剂量控制系统的设计输入;通过试验测试剂量精度和重复精度满足设计需求,验证了剂量误差模型的准确性。 相似文献
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在信息高度发达的今天,如果提及光纤通信,您一定知道这是一项具有美好前景的新兴通信技术,是20世纪最重要的科技成就之一,它利用激光作为传递信息的载波,其通信容量比用无线电波要大得多;光导纤维(简称光纤)是利用全反射现象制成的用来传光的透明玻璃或塑料纤维,其直径在几微米到几十微米之间;也许您还能如数家珍地列出光纤通信所具有的抗干扰性好、传输损耗小、传输距离远、保密性强、重量轻、能节省金属材料等诸多优点。但是,如果谈及新型光纤通信──光纤孤立子通信(简称光纤孤子通信),您也许知道得并不多。下面笔者就此问题作一简要介绍。 相似文献
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本文介绍了一种精巧便携的新器件-ML4864。通过对其内部电路及其外围典型应用电路的分析,论证了ML4864在液晶显示背景照明驱动电路中重要的应用价值。 相似文献
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介绍全CAN网络系统的特点及组成,分析C5轿车CAN网络的网络架构、控制原理,并分析了车载网络的发展前景。 相似文献
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基于超声扫描显微镜的特殊应用需求,设计了一种分离式超声波发射接收系统,并介绍了其主要的硬件电路设计和软件设计,通过该系统在超声扫描显微镜上的应用验证了其性能。系统可有效减少线缆反射,将信号衰减降至最低,同时减少噪声和干扰信号拾取,从而得到一个低畸变、更强、更干净的超声波信号。 相似文献
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介绍了一种新颖的非零色散位移光纤结构设计方法及其MCVD+OVD制造工艺,所制备的光纤有效面积达到71 μm2以上.采用关键结构区域精确微扰方法,改进了光纤的色散特性.1550 nm处色散斜率由0.0715 ps/(nm2·km),分别减小至0.0605 ps/(nm2·km),0.0466 ps/(nm2·km),零色散波长由1500 nm附近移至1450 nm以下.测量表明,所得光纤具有优越的光学传输特性、抗弯曲性能和熔接性能,适用于C+L和S+C+L工作波长的大容量高速率长距离密集波分复用系统.光纤关键结构区域精确微扰是改进光纤性能的一种有效方法,该方法不限于MCVD工艺和非零色散位移光纤,对新型光纤的设计和生产具有积极的指导意义. 相似文献
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采用真空热压烧结工艺制备了石墨相形态为粉体(粒径约5 μm)、鳞片状(粒径445~636 μm)和近球形颗粒状(粒径200~300 μm)的铜/石墨复合材料,考察了以Al2O3陶瓷为摩擦副条件下石墨相形态对铜/石墨复合材料摩擦磨损性能及作用机制的影响,并探讨了材料在外载作用下的可靠性. 结果表明:石墨相形态不同时,石墨相和金属铜在材料中的分布方式也随之改变,进而影响到材料的摩擦学性能和力学性能. 在保持复合材料中石墨相含量不变的基础上,将石墨相形态从微米级粉体转变为各向异性的大块鳞片状石墨,再转变为各向同性较好的大尺寸近球形颗粒状石墨时,石墨相在材料中与金属铜形成的弱界面含量逐渐减小,金属铜的三维连续性变得更好. 材料在受到外载破坏时,从石墨相与铜基体界面萌生裂纹的扩展应力可被连续金属铜及时吸收钝化,使材料抵抗裂纹破坏的能力明显提高. 当石墨相为近球形颗粒状时,材料的抗弯强度、抗压强度、断裂韧性和冲击韧性分别高达155.4±3.6 MPa、353.5±24.7 MPa、5.3±0.6 MPa·m1/2和4.0±0.4 J/cm2. 此外,石墨相形态对材料的摩擦学性能也有重要影响,当石墨相以粉体形态存在时,石墨相与金属铜间形成的弱界面越多,铜基体的连续程度被石墨显著割裂,在摩擦力作用下割裂的铜颗粒易被剥离进入摩擦界面,与摩擦副形成“三体”磨损,导致材料的大量磨损. 当石墨相以鳞片状形态存在时,石墨相的聚集程度相对增加,使得金属铜的连续程度相对提高,可避免发生类似复合粉体形态石墨材料的磨损. 但是,鳞片状石墨呈大块片层状,形状各向异性,随着材料表面鳞片石墨的摩擦损耗,或者垂直于材料表面的鳞片石墨较多时,将造成摩擦副间摩擦系数较大的波动. 当石墨相为近球形颗粒状时,较为均匀的石墨相空间分布状态、三维连续结构的铜基体和润滑相/承载基体呈现的软/硬交替结构使得铜/石墨复合材料具有低且平稳的摩擦系数以及优异的减摩抗磨性能. 本文中以Al2O3栓为摩擦对偶时,复合材料的摩擦系数和磨损率分别低至0.13±0.02和5.4×10?6 mm3/(N·m). 相似文献
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基于超声扫描显微镜,对金属封装的声学特性进行分析,结果表明,超声扫描显微镜可实现对金属封装焊缝缺陷的定性、定位、定量检测。 相似文献