UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计

介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。     

全自动太阳能电池测试分选设备的研制

太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完...     

UHVCVD外延设备的热场设计

介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。     

GaN-MOCVD设备MO源注入摩尔流量的精确控制

分析了GaN-M OCVD 设备中M O 源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定M O 源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于GaN-M OCVD 中5 种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给出了MO 源注入摩尔流量精确控制的解决方案.     

钟罩式高温烧结炉

研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结构组成和设计原理。     

RIE终测系统的抗高频干扰实验初探

本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法     

脂肪酸基天然低共熔溶剂悬浮固化分散液-液微萃取/液相色谱法检测水样和人尿中抗真菌药

建立了基于新制备的天然低共熔溶剂悬浮固化(SFNADES)分散液-液微萃取结合高效液相色谱法(HPLC)检测环境样品中酮康唑、克霉唑、特比萘芬和益康唑4种抗真菌药的分析方法。选用月桂酸为氢键供体,正辛醇为氢键受体合成的天然低共熔溶剂(NADES)作为萃取剂。通过优化萃取剂的种类与摩尔比、萃取剂体积、样品体积、样品pH值与离子强度、涡旋时间及离心时间等获得了最佳萃取效率。在最优条件下,方法的线性范围为0.56～500μg/L,线性系数(r²)≥0.999 8,检出限为0.17～0.80μg/L,定量下限为0.56～2.67μg/L,富集倍数为101～114,日内和日间相对标准偏差(n=6)分别不大于4.8%和5.4%。该方法已成功用于实际水样和人尿中抗真菌药的检测,回收率为91.5%～107%。     

依赖公理约简的经典规划方法

 基于可满足性的规划方法通过将经典规划问题转换为一系列可满足性问题进行求解.几乎所有基于可满足性的规划编码都存在着大量的重叠公理和冗余公理,直接决定了编码理论的编码大小与求解难度.通过分析基于Graphplan的编码方式,分别提出了重叠公理的判定策略和冗余公理的删除策略.在SATPLAN2006规划系统中实现相应的编码方式并与原系统进行比较,实验结果表明:该约简方法能够在不降低规划性能的前提下有效地压缩转换理论的编码大小.通过分析基于状态的编码方式,提出了重叠公理的判定策略.重叠公理与冗余公理的约简容易实现,且并未改变知识库的结构模式,为进一步提高规划系统处理更大规模问题的能力提供了可能.     

刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用

介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比,从设备结构,工艺原理,试验测试等方面做了深入的分析,并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小,能够提高电池片的转换效率的优点,同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果,对提升电池片效率的贡献。     

陶瓷衬底的化学机械抛光技术研究

介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证。