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为了维修TFT-LCD电路缺陷,利用激光化学气相沉积法(LCVD)沉积钨薄膜,讨论成膜参数对基底损伤、钨薄膜电阻率的影响。在空气氛围下,波长为351nm的脉冲激光诱导W(CO)_6裂解成膜,通过聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)观察薄膜横截面研究成膜参数对基底损伤的影响,再用高精度的电参数测试仪(EPM)测试不同参数下钨薄膜电阻。控制变量法表明,激光功率或激光束光斑尺寸越大,薄膜基底损伤越大,但电阻率越小,且不沉积薄膜时高功率激光辐射也不会造成基底损伤;激光辐射速度越大,基底损伤越小,但电阻率越大。通过平衡工艺参数,得到了电阻率为0.96Ω/μm、对基底无损伤的钨薄膜,成分分析表明此时W(CO)_6已经完全裂解。 相似文献
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随着科学技术的快速发展,计算机普及率的逐渐提高,计算机网络安全也面临着越来越大的挑战,并引起了人们的关注。鉴于计算机在当今21世纪的重要作用,需要对计算机网络安全问题引起足够的重视。本文工团对当下计算机网络安全所面临的挑战和维护计算机网络安全的防范措施进行分析,希望能解决部分计算机网络安全中存在的问题。 相似文献
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自构形算法是BP神经网络提高泛化能力的一种方法,但自构形算法以线性回归理论为基础,在解决非线性问题时剪枝能力和收敛速度都存在不足,针对这一问题,提出基于多项式回归的自构形算法,并以风机故障诊断数据为例,对两种算法进行了详细的实验对比,实验表明基于多项式回归的自构形算法剪枝能力和收敛速度均优于线性自构形算法. 相似文献
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本文论述了广播电视发射台播出自动控制系统的应用技术原理、对播出控制系统的自动技术进行了分析、总结了控制系统的设计和应用,供参考。 相似文献
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