气动增压泵级连及故障分析

基于实际应用,介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验,阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了增压泵1的P1口压强和增压泵2的换向阀右端压强。给出了增压泵1不受控的原因和增压泵2停止不动的原因。指出今后的发展方向主要集在提高可靠性和小型化上。结果表明,如果有备件,进口增压泵可以做到现场维修,从而提高维修速率和设备完好率。     

基于CPCI总线的涂胶台工控机维修

阐述了一般工控机的定义和组成,介绍了CPCI工控机的特点和优势,以涂胶台为例,讲述了CPCI工控机的具体组成结构及功能,根据维修经验,对工控机蓝屏、通讯问题等典型故障的解决方法进行了分析说明。     

故障树分析法在RIE故障诊断中的应用

基于半导体刻蚀技术,对RIE(反应离子刻蚀)的技术原理和等离子启辉原理进行了阐述,概括介绍了故障树分析法,绘制了启辉故障的故障树,分析了造成该故障的各种原因,并根据维修经验介绍了APC(自动压力控制)故障和AMU(自动匹配网络)故障等一些典型因素的处理方法。