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本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件,并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将信号处理电路集成在感压元件上成为一体,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明,研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器,线性达到0.5%,迟滞小于0.5%,重复性好。具有受分布电容、寄生电容影响小,抗干扰能力强,精度高,抗过载、耐腐蚀等特点。 相似文献
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本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。探讨了加快我国厚膜力敏传感器技术创新和产业化的若干问题及建议。 相似文献
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厚膜HIC技术在集成传感器研究中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文从传感器集成化及其特点、厚膜HIC技术在集成传感器研究中的作用,技术优势以及国内外状况等方面综述了厚膜HIC技术在传感器集成化研究中的应用,并介绍了笔者研制的厚膜集成压力传感器的有关情况。 相似文献
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采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件,具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点。本主要介绍其原理、感压元件设计,并对非线性等相关技术及工问题进行了探讨。 相似文献
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