会检管理在冶金MES系统中的功能实现

阐述按照组织计划流程管理船板产品的理化性能试样检测工作,利用冶金MES系统会检管理功能进行全程跟踪,便于提前预约验船师,准时准量完成会检工作,着重介绍会检管理的主要功能和优点.该应用功能在系统中形成了船板产品会检管理工作有效跟踪管理,适合在其他类似的生产企业推广应用.     

“场发花”现象研究

随着半导体技术的不断发展,特征尺寸也不断缩小,光刻对条宽的控制能力在整个半导体技术中显得十分重要,而场发花现象对光刻来说是个较为严重的质量问题,它严重影响了光刻对条宽的控制能力,同时还造成硅片的大量返工,使生产成本增加、产量降低,也使生产的圆片质量可靠性受到置疑。文章对造成场发花现象的原因,场发花造成的影响以及如何避免场发花现象做了一定的解释。     

移动核心网络融合研究

文章分析了核心网络融合的背景和各标准组织的研究进展,阐述了移动核心网络融合及移动核心网络与固定核心网络融合的方案,并探讨了目前运营商的演进步骤。     

不同衬底材料对光刻胶剖面的影响

文章研究了在127mm硅片上分别生长金属铝和二氧化硅氮化硅叠两种IC常用材料作为衬底对光刻胶形貌的影响,其造成光刻胶形貌差的原因是金属底部反射率高导致光刻胶侧面曝光和入射光通过二氧化硅氮化硅叠层厚度的光程差正好为光源波长的整数倍,从而导致光刻胶底部干涉光同相位。通过增加底部抗反射层和调整最佳膜层厚度解决了在这两种衬底材料下光刻胶形貌差的问题。