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硅微机械领域正在对诸如汽车、航空、蜂窝通信、化学、声学、显示技术以及光波系统等传统工业产生冲击.过去10年在这个领域的研究已经得到了许多宏观机械的微观模型.在超大规模集成电路每年约2000亿美元市场及其相关工具.技术和工艺迅猛发展的激励下.这项技术在继续快速发展.微机械的尺寸最终会使其非常适合于解决光学问题,其器件、结构和相关波长尺寸范围可从1μm～数百μm.尤其在光波系统,微机械可以赋予系统设计者制作跟上迅速发展的带宽要求的高性能器件的能力.硅微机械器件的制作方法与硅集成电路 相似文献
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低成本，微机械控制的惯性测量传感器已经稳步进入商业市场。通过地面和飞行测试对一些传感器进入军事应用的潜在性进行了评估。高ｇ冲击试验表明，有些传感器对低ｇ和高ｇ发射情况都有足够的稳定性。本文列举了过去常用来减少失效的技术和传感器动态加载方法。装有发动器的微电子－机械加速计和遥测装置的仪器，炮弹和火箭在最近进行了非常成功的飞行测试。对加速计测量数据的分析与基于雷达的加速度测量结果和６个自由度弹道模拟形 相似文献
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无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力，许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS)。实现目标的途径之一是设计出可集成无源器件的方法，这些器件占当今无线手机中所用器件的70％。研究人员目前正努力开发芯片集成技术，MEMS技术便是其中的重要组成部分。MEMS已用于开关、滤波器、局域振荡器、可调电容器及高品质因数电感线圈等。制作这些器件的光刻条件与那些标准的在极端复杂的表面上进行的半导体制造工艺大相径度。本文讨论了制作这些器件的难点以及一些经证明可以满足要求的制作方法。 相似文献
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针对微生化芯片样品剂量少和与微流体芯片集成等要求,设计了两种在芯片内用分光光度法对混合后液体的吸收光谱进行探测的方法。实验利用510～840 nm的可见光光源,采用了直接探测法和消逝波探测法对样品进行探测。通过两种方法的比较证明：直接探测法具有原理简单、消耗样品量少和结构容易实现等优点;消逝波探测法具有需要样品量极少、灵敏度高和易于集成的优点。 相似文献
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微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域，是当今科学技术最具潜力的发展方向之一，而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点。本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景．并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论。MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响。 相似文献
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