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高纯气体的杂质污染,对电子产品生产来说,主要是指各种产品所需高纯气体中的微量气态杂质,如一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物和各种工序不需要、且有害的气态杂质,微量水份、微粒、金属离子等。 相似文献
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●国家标准《洁净厂房施工及验收规范》(电子厂房)第一次编写工作会在苏州召开。根据国家建设部2005年4月建标函[2005]124文,关于印发《2005工程建设标准规范制订、修订计划(第二批)的通知和相关规定》,2005年11月22日在苏州召开“规范”第一次编写工作会。会议讨论并通过了由主编单位——中国电子工程设计院起草的“编写工作大纲”,大纲内容包括:对编写工作的主要要求,章节内容及附录,调研、专题报告题目,编写分工及编写工作进度等。该“规范”拟定将于2006年10月完成报批稿。苏州会议由“规范”参编单位苏净集团承办。●《电子工厂洁净厂… 相似文献
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1洁净室建造中设备材料的重要性设备材料的重要性表现为:·实现洁净度、满足产品要求的主要依据;·确保安全、可靠运行的条件;·实现降低建造费用、经济运行的前提。合理、准确选用洁净室建造用设备、材料是工程设计的重要工作。2洁净室设备材料分类及有关要求(1)产品生产设备·选择依据是产品品种、规模及其生产工艺等;·布置在洁净室中的生产设备应表面平整、光洁、不易脱落污染物;·局部净化与生产设备;·隔离装置;·微环境。(2)人净、物净设施①空气吹淋室·高速洁净气流吹落、清除人员表面附着的微粒;·设在洁净室人员入口处,并与洁净… 相似文献
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半导体生产用高纯气体供应系统 总被引:1,自引:0,他引:1
本文简介半导体用高纯气的种类,品质要求和供应系统,对以超大规模集成电路为代表的半导体高纯气的制取、纯化和高纯气配管技术进行了介绍,可供从事高纯气供气系统设计,施工和运营人员参考。 相似文献
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工业气体主要是指机械、电子、冶金、化工、建材、航空航天、造船、食品等工业部门使用的氧气、氮气、氢气、乙炔气、压缩空气、稀有气体和保护气体等。各种类型的工业气体广泛应用于各行各业的金属冶炼、金属热处理和加工、焊接切割、燃烧气体、 相似文献
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