关于国家自然科学基金资助摩擦学基础研究的分析与讨论

本文首先对国家自然科学基金在１９８６－１９９１年间资助摩擦学基础研究的情况进行了简洁的分析，接着就其资助办法作了介绍，最后着重对如何利用科学基金促进摩擦学的发展问题作了讨论，指出应当把坚持应用摩擦学学科发展战略的研究成果、鼓励和支持创新性研究、积极支持交叉学科研究和注意扶植新的学科生长点、加强摩擦学研究与实际应用相结合和促进优秀青年摩擦学研究人才的迅速成长等作为国家自然科学基金资助摩擦学基础研究的     

掩模版复印工艺图形畸变分析与改进

批量化、低成本的掩模版复印工艺常被用于LED领域。在微米级图形的掩模版复印工艺中,受玻璃基板平面度的影响,光学衍射效应会导致图形发生畸变。为消弭复印工艺中的图形畸变,从光学衍射理论展开分析,提出通过调整光刻曝光剂量和光刻胶层厚度来提升掩模版复印工艺水平的方法。实验实现了4μm圆形图形掩模版的复印制作,结果表明该方法可以显著提升微米级图形的掩模版复印工艺水平,降低掩模版的制作成本。