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硅基底波导光互连技术具有可以充分利用成熟的半导体工艺,与VLSI电子器件工艺 相容好等特点,引起了人们极大的研究兴趣。近几年飞速发展的非线性有机物和聚合物因它们同无机材料相比具有潜在优越的光学和结构特性,用于波导光互连更显示出良好的发展前景。首先它们用于开关结构的设计,为波导光互连器件的动态控制提供了又一可能性,它涉及新工艺和理论两方面研究。其次有些有机物和聚合物的电光系数与铌酸锂的相当,有的甚至高出许多,它们在连续沉积薄膜时,其电光效应无明显的改变,制作的电光调制 相似文献
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本文报导了2μm高性能单层多晶硅双极器件及工艺。为了改善器件性能,对基础工艺的改进和完善作了试验,如减少外延自掺杂及缺陷;改善EC漏电;降低发射极串联电阻等。并列出了典型的工艺参数及器件参数。用本工艺得到环振门延迟为250~500ps,有的可达200ps。 相似文献
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设计并制作了带有集成透镜的1×4 InGaAs/InP pin探测器阵列.对器件纵向和横向结构参数及集成InP透镜几何参数进行了模拟设计与优化.器件带宽达1.0GHz,对宽带波分复用、光互连以及光计算网络有重要应用价值. 相似文献