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对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型-两端固支薄板条模型,该模型不同于常说的硅桥(梁)或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际,优于有关文献结果。 相似文献
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