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Atomic magnetometer with microfabricated vapor cells based on coherent population trapping
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An atomic magnetometer based on coherent population trapping(CPT) resonances in microfabricated vapor cells is demonstrated. Fabricated by the micro-electro-mechanical-system(MEMS) technology, the cells are filled with Rb and Ne at a controlled pressure. An experimental apparatus is built for characterizing properties of microfabricated vapor cells via the CPT effects. The typical CPT linewidth is measured to be about 3 k Hz(1.46 k Hz with approximately zero laser intensity) for the rubidium D1 line at about 90℃. The effects of pressure, temperature and laser intensity on CPT linewidth are studied experimentally. A closed-loop atomic magnetometer is finally finished with a sensitivity of 210.5 p T/Hz1/2 at 1 Hz bandwidth. This work paves the way for developing an integrated chip-scale atomic magnetometer in the future. 相似文献
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微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构 总被引:1,自引:0,他引:1
在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内.传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了一种新型的测试结构.对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试。实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力.键合面为常用的正方形.其边长从6μm到120μm,计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4.9%,这一误差在工程中是可以接受的。实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线。MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线.针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积。 相似文献
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一类模糊PID控制器的设计与分析 总被引:2,自引:0,他引:2
阮勇 《太赫兹科学与电子信息学报》2007,5(3):216-219
通过介绍一类模糊比例积分微分(Proportional Integral Differential,PID)控制器的设计方法,分析比较其在不同系统模型下与单纯模糊控制器、常规PID控制器的控制效果,从而证明其不仅能够适应系统参数的变化,保持系统响应曲线好的动态特性,而且又能够消除系统的稳态误差,达到较好的静态特性。 相似文献
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基于IP(网际协议)的无线接入网络可以很好降低LTE(长期演进)业务的承载建设难度,同时实现用户感知和利益的最大化。从业务模型、承载方案、网络结构、流量模型等方面来探讨LTE业务的分组承载网络架构和应用。 相似文献
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为提高悬臂梁的分辨率,实现悬臂梁的多功能性,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁.从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸.选用多晶硅为力敏材料,基于硅微机械加工技术,制备U形阵列式悬臂梁.测量悬臂梁的噪声及灵敏度,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数,分别为3×10-3和27.在6V偏压和1000Hz测量带宽条件下,计算悬臂梁的最小可探测位移为0.5nm.同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨.
关键词:
悬臂梁
噪声
灵敏度
最小可探测位移 相似文献