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葛琳琳  王世先  张瑞  闫学纯 《红外》2020,41(2):7-12
研究了一种锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法,即无需将器件背面减薄就可进行盲元测试与分析。用该封装装配方式将器件倒置,实现从芯片正面吸收光的照射。在完成互连、灌胶以及每一步磨抛工艺步骤后,都可以进行测试和分析。结果表明,该方法能够有效地分析和定位每步工序过程中产生的盲元情况,解决了现有技术手段中对红外焦平面器件因产生盲元导致像元失效无法准确定位出现在哪步工艺的问题。  相似文献   
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