1.06μm高功率激光反射膜

为提高反射膜的抗激光强度,对ZrO_2-SiO_2多层介质膜的制造工艺进行了深入的研究。已制备出高反射膜和激光输出膜在λ_0=1.064μm处,激光脉宽为1.2ms的单脉冲激光照射下,能承受的能量密度为160J/cm~2;在重复频率为20次/s的激光照射下,能承受的功率密度为1.5kW/cm~2,承受打激光脉冲300万次膜层不损坏,并通过了16kW/cm~2承受激光脉冲7.2万次的超负荷试验。     

倍频反射膜

本文对激光倍频反射膜的反射原理、光学特性以及影响性能的因素作了初步分析。着重介绍研制工艺,并给出了有关试验数据。     

某些工艺因素对窄带滤光片性能的影响

通过误差模拟,结合单半波滤光片和双半波滤光片制造工艺和光谱特性计算,分析了膜层厚度误差、基片温度、空气湿度等因素对窄带滤光片性能的影响。结果表明,这些因素对双半波滤光片性能的影响远大于对单半波滤光片的影响。因此要获得性能优良的双半波窄带滤光片,在工艺条件控制上比制造单半波滤光片有更高的要求。     

532nm高质量窄带滤光片

为了提高激光测距机的信噪比,研制了高衬度超窄带滤光片。滤光片选用双半波膜系,采用ZnS-Na_3AlF_6材料组合的35层膜,并用金属环密封制成高质量窄带滤光片,其主要光学性能为:中心波长λ_0=532nm,半宽度W_(0.5)=1nm,峰值透射率T_(最大)≥40％,长波截止到1nm,截止区透射率T≤10~(-4).     

倍频截止干涉滤光片

本文介绍倍频截止干涉滤光片的研制工艺,着重介绍膜系的选择、膜厚控制、在研制过程中出现的问题以及解决的方法。制成了在两个给定波长处,其中1.06微米的反射率 R>99%,0.53微米的透射率 T>95%的倍频截止滤光片。