面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模

MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计.为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法.该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新.实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计.     

不需激活复合型常温吸气剂技术

本文介绍几种用于常温、102～10-2Pa真空度条件下以及气体纯化领域的吸气剂。这些吸气剂具有不需要激活,在空气中有一定稳定性,在中低真空环境中吸气容量大等特点。这些吸气剂技术有别于常用的传统蒸散型钡吸气剂和非蒸散型吸气剂（需要一定的激活条件）。在某些特殊的无激活条件的真空领域,利用多种吸气剂技术组合,有效吸收多种或定向吸收某种气体,从而达到维持真空或纯化气体的作用。其显著特点就是无激活过程,并可以短时间内暴露在于燥空气中,在真空绝热板、气体纯化、大型工业杜瓦等领域具有广泛的应用。     

多孔烧结型吸气剂的研制

本文介绍了用于斯特林致冷机微杜瓦器件的一种带热子的多孔烧结型吸气剂的研制及其开发出的一种添加有活化剂的新型吸气材料。     

锆钒铁吸气剂常温激活吸氢现象的研究

介绍了锆钒铁吸气剂在室温(约20℃)下真空放置,不需高温激活即具有大量吸氢能力的现象.着重从表面吸附的角度分析此现象的反应机理,建立了反应模型,并进行了试验验证,由此得到影响该现象的主要因素.针对该现象的研究对于锆钒铁等吸气材料应用于蓄能电池、贮氢材料、核物理应用等领域具有重要意义.     

吸气剂在行波管中的应用

本文介绍了目前行波管所使用的锆-石墨、锆-锫钒铁、钼-钛吸气剂,以及近年来使用吸气剂所发现的问题,同时介绍了应用于行波管吸气剂的新技术及发展趋势.     

Lattice Bhatnagar—Gross—Krook Simulation of Stratified Backward—Facing Step Flow

We perform a numerical simulation for steady stably-stratified flow over a two-dimensional backward-facing step with the Froude number of 16/9,the Reynolds number of 800 and the Prandtl number of 1.0 by using a newly developed thermal lattice Bhatnagar-Gross-Krook model.A detailed analysis is presented.Excellent agreement between the present results and other numerical data shows that the lattice Boltzmann method is an efficient simulation method for complex flows.     

Lattice—BGK simulation of a two—dimensional channel flow around a square cylinder

The confined flow around a square cylinder mounted inside a two-dimensional channel (blockage ratio $\be=1/8$) was investigated in detail by a newly developed incompressible nonuniform lattice-BGK model. It is found that the vortex shedding behind the cylinder induces periodicity in the flow field, and the periodicity of the flow will lose for $Re>$300. A detailed analysis for a range of Reynolds numbers between 1 and 500 was presented. Quantitative comparisons with other methods show that the model gives accurate results for complex flows.     

一种新型小型化高抽速的复合吸气泵

本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领域。其采用吸气剂泵作为主泵,用一个小型离子泵安装在吸气剂泵的支架内用来抽除吸气剂泵无法抽除的甲烷、惰性气体等,具有结构紧凑、体积小巧、便于安装和维护,抽速高等特点。