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金属氧化物气敏半导体表面受感性能的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
本文提出了用化学反应动力学理论研究半导体统计分布的方法,并用此方法对在气敏材料表面可能产生吸附氧离子O2^-,O^-的几种历程进行了研究,导出了浓度比[O2^-]/[O^-]随温度的升高而下降的事实,通过对吸附氧离子麦德隆势的计算,得出了在完整离子晶体表面上不可能产生氧离子O^-的结构,并讨论了可能产生离子O^-的途径。 相似文献
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