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本文介绍了扩展电阻的基本概念,扩展电阻测量的原理、装置、操作及测量结果和讨论.本半自动化测量系统.对于ρ在~(-3)~几十欧姆·厘米的硅单晶,其测量精确度达10%之内.  相似文献   
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