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以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
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受陕西省经济贸易委员会委托,陕西省机械行业管理办公室、陕西省电力公司和陕西省信息产业厅于2003年12月19-21日联合主持,对陕西宝光真空电器股份有限公司研制开发的TF800、ZW32-12/T630-20等十一种新产品进行了省级投产鉴定。 相似文献
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本文在掌握大量案例的基础上,分析了全球邮政、快递行业应用RFID技术的发展空间、应用现状,提出了我国邮政企业实施RFID在技术层面上的若干问题并提供了建议。 相似文献
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实验室用玻璃减压流化床装置齐德林,胡玉秀(中国科学院化学研究所,北京100080)流化床(fluidizedbed) ̄[1,2]可用于热解,氯化,氟化,碳化,焙烧,干燥,分级,催化,裂化,煤炭的燃烧与气化,活性炭的制备及吸附等多方面的应用。本文介绍作... 相似文献