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为了获得优化的CMP参数变化,对实验进行了设计,并采用CMP方法在C6382I-W/YJ单面抛光机上对蓝宝石衬底表面进行了加工.根据蓝宝石衬底特性,选择了碱性抛光液,并选用SiO2胶体作为磨料.依据高去除的目的,对如底盘转速、抛光液流量、温度及压力等不同工艺参数进行了研究.根据实验结果,确定了蓝宝石衬底表面的CMP最佳工艺参数. 相似文献
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目前对于红外激光诱导的异构化研究甚少,有关烯丙醇分子的激光化学反应尚未见报道,本文报道了烯丙醇分子红外激光诱发的1,3-σ迁移反应及离解反应。 1 实验方法 以光栅选频TEA CO_2 B型脉冲激光器为激发光源,脉宽<150 ns,脉冲重复频率1 Hz,光束聚焦至反应池中央,焦斑面积<0.1 cm~2.反应池先抽至0.13 Pa以下,再充入一定压力的烯丙醇和缓冲气体Ar或N_2,用Perking-Elmer 983型红外分光光度计和MAT 454型色质联 相似文献
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采用二维和三维实空间分析方法可视化了双光子吸收特征,包括跃迁距、电荷转移和电子空穴相干性. 跃迁密度的三维实空间分析揭示了跃迁距的强度和方向,电荷差异密度显示双光子吸收过程中的电荷转移方向. 跃迁密度矩阵的二维实空间分析可视化了电子和空穴的相干性. 二维和三维实空间分析有助于清晰地理解双光子吸收的电荷转移过程和激发的分子单元对双光子吸收的贡献. 相似文献
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