微小机电强链中的驱动器

本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作为设计微小机电强链驱动器的参考.     

The progress of nuclear pumped laser in CFBR-Ⅱ reactor

Development of nuclear pumped lasers (NPL) in the CFBR-Ⅱ reactor is briefly reviewed. The results ofthe two NPL experiments in CFBR-Ⅱ reactor are described. The first one focused on the principle ofnuclear pumped laser, and 4-mW laser output power achieved. The second NPL experiment focused onthe small signal gain and the efficiency of the nuclear pumped He-Ar-Xe gas mixture at 1.73 μm. Themaximum laser power measured to be 45 mW when thermal neutron flux rate is 6.9 × 10 14 cm-2 @ s-1.The small signal gain at 1.73μm by the Rigrod analysis method is to be 0.24%.cm-1, and the saturationintensity is fitted to be 36 W/cm2.     

薄膜磁头磁轭制备工艺研究

本文重点讨论了用不同的工艺方法来制备薄膜磁头中的关键元件-磁轭。采用多次光刻的方法克服湿法工艺中磁性膜NiFe层的侧向钻蚀问题，从而实现对磁轭几何尺寸的精确控制，并对几种工艺方法的优缺点作了比较详细的分析。     

微光机电系统的微绞链研制

本文讨论了非硅微机械工艺和微绞链的研制工艺。我们研制的非硅表面微机械工艺采用两次或三次掩模电镀层，聚酰亚胺和光刻胶分别作为底层和第二、第三层的牺牲层。用这套工艺，研制成功了三种不同种类的微绞链。微绞链能在基片表面作０—１８０度自由转动。     

电磁型微电机定子绕组的研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２５Ω之间。输出力矩为１．５μＮＭ，转子转速每分钟可达５００转。     

磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究

介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作。初步的实验表明该方案是行之有效的。     

微机电安全密码锁的设计技术

微机电安全密码锁是一类用于确保“要害系统”安全性的装置 ,也可称为微锁、微型组合锁、微型密码鉴别器或微型使用控制开关。本文重点介绍了微机电安全密码锁的基本功能单元 :即鉴别器机构、驱动器与能量耦合器 ,结合工作原理的分析 ,探讨了装置总体设计中应考虑的关键问题     

微执行器中连续电磁驱动的数学模型

为了指导电磁微执行器的设计与开发研究，该文用解析法求出了微执行器中电磁连续驱动的数学模型，分析了衔铁位移与励磁电流的关系曲线及其各部分的物理意义，揭示了该曲线在铁心相对磁导率变化小或影响小的情况下存在极大值和失稳现象的规律:当衔铁的位移使磁路总磁阻减小1／3时，所需励磁电流最大，继续减小磁路磁阻时，则发生失稳现象。分析结果与实验结果相吻合。     

MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺

MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点，其用途或潜在用途相当广泛 。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器，在充分利用SU-8特点的基础上，结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列，新开发了UV-LIGA多层微加工工艺，它主要包括：在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层，涂布正胶，紫外光刻得到电镀模具，电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯；在完成下层和中层后，分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台，即涂布负胶覆盖较下层结构，光刻开通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求。实验表明该工艺是可行和实用的。它除了可用于螺线管电感器的加工，还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件。     

铁芯和空芯螺线管型微电感器的性能比较

为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求，用正、负胶结合的微加工工艺，在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数均相同的两种螺线管型微电感器，测试了它们在1－40MHz频率范围的电感、电阻和Q因子，并进行了比较和讨论。其结果与现有理论知识相一致。实验证明了具有坡莫合金铁芯的螺线管型微电感器在低于30MHz的频率下使用更有意义。而无铁芯螺线管型微电感器还可以用于更高频率的场合。