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以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
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6减免 如果用户对费用或是对服务有争议,用户觉得自己的权益受到了损害,除了采取咨询、投诉的方式外,还可采取要求减免的方式处理,系统减免申请功能也是应此要求产生的. 相似文献
5.
受陕西省经济贸易委员会委托,陕西省机械行业管理办公室、陕西省电力公司和陕西省信息产业厅于2003年12月19-21日联合主持,对陕西宝光真空电器股份有限公司研制开发的TF800、ZW32-12/T630-20等十一种新产品进行了省级投产鉴定。 相似文献
6.
激光剥离GaN/Al2O3材料温度分布的解析分析 总被引:2,自引:2,他引:0
分析了脉冲激光作用下GaN的衬底剥离过程。利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了分界面温度和脉冲宽度的关系。表明,单脉冲作用下分界面的温度与加热时间的平方根成正比,并得出脉冲过后随着深度变化温度梯度的分布。在连续脉冲作用时,分界面的温度呈锯齿状不断升高。 相似文献
7.
本文在掌握大量案例的基础上,分析了全球邮政、快递行业应用RFID技术的发展空间、应用现状,提出了我国邮政企业实施RFID在技术层面上的若干问题并提供了建议。 相似文献
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