投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析

以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。     

计量用脉冲Nd：YAG倍频激光器及其电源

介绍了脉冲Nd:YAG倍频激光器双波长（1064／532nm）3种输出的激光光路。1064nm输出的动静比可达0.40；KTP晶体外腔倍频效率可达0.50。介绍了稳定可靠的调Q电路、逻辑控制电路和开关电源的主电路及其参数计算。     

噪声协方差估计在惯性导航系统误差模型中的仿真研究

在系统常值误差未知的情况下对线性时变随机系统误差协方差进行估计的新方法。该方法通过构造一个新的时间序列，其协方差由未知参数的线性组合组成，然后用递推最小二乘法来计算新序列的协方差，该方法并不需要任何关于噪声的先验知识。从仿真结果来看达到了满意的效果。     

宝光股份十一种新产品通过了省级投产鉴定

受陕西省经济贸易委员会委托，陕西省机械行业管理办公室、陕西省电力公司和陕西省信息产业厅于2003年12月19-21日联合主持，对陕西宝光真空电器股份有限公司研制开发的TF800、ZW32-12／T630-20等十一种新产品进行了省级投产鉴定。     

全球邮政、快递业应用RFID技术的研究

本文在掌握大量案例的基础上,分析了全球邮政、快递行业应用RFID技术的发展空间、应用现状,提出了我国邮政企业实施RFID在技术层面上的若干问题并提供了建议。     

基于美国数字有线电视标准信道解码技术的DSP实现

介绍了美国数字有线电视传输标准以及一种采用DSP技术进行软件信道解码的方法，给出了所用关键技术和实现算法。使用软件信道解码方法，可以通过修改程序来满足不同信道处理要求，增强系统的灵活性。     

固体相干激光雷达多普勒测速实验

采用单块非平面环形激光器作为种子,注入到单纵模运转的Q开关高重复频率Nd:YAG激光器为发射源,同时运用温度反馈控制,使种子光源和从动激光器自由振荡频率相匹配,实现稳定的单频输出.采用外差式相干探测的方法,测量运动目标的多普勒频移,从而达到测量运动物体速度信息的目的.根据实验现象,分析失谐频率△ω对外差探测的影响,提出了改进措施并应用于实验.比较已观测到的实验数据与理论计算值分析误差来源.     

OCT图像散斑的形成机理和清除方法

根据光相干层析成像（OCT）的光学和光电检测系统特点，结合现有的理论模型，分析了OCT成像和散斑形成机理。指出失去相干性的多次散射光部分会被滤波电路排除，散斑是由高散射组织相干长度之内的不同散射截面上的若干具有nπ光程差的相干散射光彼此叠加形成的。最后讨论了消除散斑的方法。