喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究

旋转主轴作为喷雾涂胶机的关键部件,其性能的优劣直接影响着光刻胶的喷涂质量。根据工艺要求提出了喷雾涂胶机旋转主轴的主要技术指标,建立了旋转主轴的三维模型,利用有限元软件ANSYS对旋转主轴进行了动态特性分析,验证了结构设计的合理性,为旋转主轴的开发设计提供了理论基础。     

切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计

径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。     

低温探针台液氮管路保冷设计与应力分析

对低温探针台液氮管路的保冷结构进行了研究,给出了保冷层厚度的计算方法,应用有限元分析软件对液氮管路进行了热应力分析,为低温探针台液氮管路保冷设计提供了理论依据.     

划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究

从划片机空气静压电主轴的结构出发,分析了主轴的技术要求,提出了主轴材料选用的基本原则,介绍了划片机主轴的常用材料,重点论述了划片机主轴的加工阶段划分、热处理安排和定位基准选择,给出了划片机主轴的加工工艺路线图,并在实践中进行了验证。     

高速空气静压电主轴的振动及控制策略

从主轴的结构和工作机理出发,分析气锤振动、受迫共振、机械振动及电机不平衡磁拉力等引起主轴振动的关键因素,依据分析结果提出减小或消除主轴振动的措施。     

晶圆划切工艺与优化

在研究晶圆划片机划切工艺的基础上,分析了划切的质量缺陷和划切质量评估矩阵,阐述了影响划切质量的诸多因素。介绍了划片刀、承载薄膜、划切模式、划切冷却水的添加剂和划切参数的选择对划切质量的影响,通过对以上5个方面的优化来达到优化工艺的目的,同时还提出了将砂轮划片和微水导激光划片相结合的新划切工艺。     

空气静压电主轴过盈联接研究

空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论对空气静压电主轴过盈联接进行了设计和校核,并利用有限元分析软件ANSYS动态模拟了转轴与电机转子压装过程的接触应力,证实了该联接的可靠性。