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通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化. 相似文献
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通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化. 相似文献
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利用3 646份佛山居民满意度调研数据,通过加权综合评分法对居民满意度进行测算.在此基础上,通过"全样本数据"分析收入与满意度关系,发现二者无关,主要原因是学生群体与上班族群体差异较大使然;若取其中"上班族群"数据分析二者关系,则呈倒U型曲线关系,说明佛山幸福悖论拐点已经到来.相对生活成本和地区差距弱化了收入对满意度的边际影响效应,这为悖论提供了新的解读视角. 相似文献
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随着广播电视业务的扩展,湖南省广播电视干线传输网络在扩大覆盖的同时,有必要对网络进行数据化、宽带化的改造,逐步将网络建设成基于光传输的、大容量的多业务传送平台(MSPT)。 相似文献
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怎么把身边发生的新闻事件有效地、实时地进行报道是摆在电视工作者面前的一个艰巨任务.以前,国内外新闻事件的直播的传输方法通常采用光纤、点对点微波和卫星传输三种方式,但是在一些突发事件和现场实时新闻采访报道中,这三种传输方法实现实时传播将变得非常困难,因为: 相似文献
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HDTV的市场情况,为什么全世界都在推动HDTV的发展呢?因素有三:第一是HDTV的画面质量比标清电视要令人满意,使人有身临其境的效果;第二个原因是大屏幕电视(平板显示器)的发展,终端会更早得进入百姓家;第三是高清节目源的制作也趋于完善,节目交换市场趋于成熟。计算机和DVD的高清应用得到更广泛推崇。 相似文献