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基于微机械的多孔硅牺牲层技术 总被引：3，自引：0，他引：3
多孔硅作为一种牺牲层材料 ,在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。文中综合讨论了三种不同的多孔硅牺牲层技术 ,并用后两种“在低掺杂衬底上的多孔硅牺牲层技术”,制作了良好的悬空微薄膜结构 ,同时对多孔硅表面的薄膜淀积 ,和制备过程中的掩膜材料等进行了分析 ,为利用多孔硅工艺制作各种 MEMS器件奠定了基础。 相似文献
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硅基微型直接甲醇燃料电池的研究 总被引：2，自引：0，他引：2
设计了一种基于MEMS技术的硅基微型直接甲醇燃料电池（DMFC），采用流体力学软件进行了DMFC三维阳极模型的模拟，〖JP2〗利用MEMS加工技术和PDMS封装工艺实现了这种燃料电池，并在室温下对有效面积为8600μm×8600μm的电池样品进行了性能测试．测试得到该DMFC的开路输出电压为0.5V，短路工作电流密度达到78.1mA/cm2，最大输出功率密度为3.86mW/cm2．主要参数已达到了一些电子器件的要求，具有一定的实用价值． 相似文献
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基于MEMS技术的微型燃料电池的制作 总被引：3，自引：0，他引：3
提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的硅基微型直接甲醇燃料电池的制作工艺流程。该微型燃料电池采用KOH体硅腐蚀技术得到流体通道,并溅射金属Pt层作为收集电流的电极。采用PDMS将两块带有微通道的燃料电池硅片与涂有催化剂层的质子交换膜密封粘合。制作得到的微型燃料电池单元的流道有效尺寸为:8 6mm×8 6mm。室温常压下,单电池的开路输出电压为0 4V左右。当输出电压为0 21V时,达到最大输出功率15 6μW(21 1μW/cm2)。 相似文献
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多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺。 相似文献
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