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1.
微波烧结锇的初步研究
李世磊
刘伟
王金淑
周帆
谢元峰
夏扬
吕宏
张超
杨韵斐
张小可
《真空电子技术》
2021,(3):54-59
锇靶是制备M型阴极常用的一类靶材,须具有纯度高、致密度高、晶粒细小等特性,然而,传统工艺烧结因烧结温度较高获得的靶材晶粒较粗大,对阴极覆膜沉积不利.本研究对锇粉模压成圆饼压坯,之后采用微波烧结压坯.微波烧结锇压坯过程中以碳化硅、氧化锆作为辅助加热材料,氧化铝作为保温材料,升温速率在20~30 min/℃之间.结果 表明...
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