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本文介绍了亚微米ULSI工艺中，采用钨插塞（Tungsten Plug)制作接触孔与通孔的技术，对于WCVD、W Etchback及其常见工艺问题作了一些分析，此项技术已经用于C05电路的工艺流片。 相似文献
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采用外接恒流源对注入机进行剂量校准 总被引：1，自引：0，他引：1
本文作者采用KEITHLEY220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATONNV6200A进行剂量校准，确保离子注入设备的精确计量，本文对于测试原理及校准过程作了详细论述，目前这一监控手段已用于实际生产，对工艺参数控制有一定的指导意义。 相似文献
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