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步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展 总被引:11,自引:0,他引:11
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。 相似文献
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综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-SPM)纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术。 相似文献
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自适应变形镜技术在激光加工、激光发射和远距离输出、聚焦系统等方面的应用正日益受到重视,不断发展。它是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术。本文着重论述高功率强激光加工中自适应变形镜技术及其对“飞行光学”聚焦特性控制的新技术。 相似文献
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