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1.
离焦激光直写光刻工艺研究   总被引:10,自引:2,他引:10  
采用理论计算和光线追迹分析了激光直写光刻中离焦对写入焦斑光场分布的影响;使用四轴激光直写设备开展了离焦激光直写光刻工艺实验,实验和理论计算及光线追迹的结果吻合得很好。利用离焦激光直写光刻方法制作了光栅和分划版,测得实验结果达到工艺要求。  相似文献   
2.
防雷检测中测点电阻差异探讨   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文将就防雷检测中测点电阻存在差异的主要原因进行分析,在此基础上,对应对防雷检测中测点电阻差异的有效处理措施进行详细的探讨。  相似文献   
3.
随着当今世界的飞速发展,各处的高楼大厦拔地而起,城市人口的增长速度也飞快,所以建筑物的防雷对于保障建筑的安全与人员的安全显得十分重要。对于现代化的建设,要讨论建筑物防雷,就首先要想到的是建立在地面上的建筑物的位置分布状况、建筑物类型以及土壤的电阻率在建筑物防雷设计中的应用。  相似文献   
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