抛光型SLAM系统灵敏度研究

以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,为进一步改进SLAM提供了理论依据。     

声显微成像

简要介绍激光扫描声学显微镜、机械扫描声学显微镜、Ｃ模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性，并对在电子工业中的应用进行了讨论。激光扫描声学显微镜，机械扫描声学显微镜，Ｃ模型扫描声学显微镜     

300MHz激光扫描声学显微镜

本文对激光扫描声学显微镜（ＳＬＡＭ）的刀口理论以及利用谐波技术提高其工作频率的方法进行了研究．实验上实现了使基波频率为１００ＭＨｚ的ＳＬＡＭ工作于３００ＭＨｚ三次谐波上．最后给出了一些样品在３００ＭＨｚＳＬＡＭ系统上较清晰的声学图像．     

激光扫描探测声表面波特性

介绍一种新型的探测声表面波传输特性的测量技术.实现了各向异性晶体声表面波衍射场分布的一维扫描显示;二维扫描在电视屏上可对声表面波阵面直接成象,在此基础上求出了声表面波相速以及探测声表面波器件表面缺陷.     

声表面波的衍射分析

从声表面波(SAW)满足的标量波动方程出发,根据傅里叶变换分析了各向异性晶体中SAW衍射场分布,在此基础上利用数值积分的方法计算出了衍射场分布的理论曲线。实验上进行了验证,二者分布基本一致。     

分层媒质中声波传输规律的研究

利用声波在分层媒质中的传播理论,分析了平面声波在由不同固体,液体构成的多层媒质中声波的透射规律,计算得到透射系数公式,并进行了数值计算。结果为激光扫描声学显微镜的设计及实际应用提供了参考依据。     

激光扫描声学显微镜的实验研究

本文从理论上分析计算了100MHz激光扫描声学显微镜(LSAM)系统的设计参数和技术指标,阐述了实际的实验系统;并就一些样品进行了测试,得到了满意的声象。     

76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制

描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辨率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于多层陶瓷电容器的无损检测。最后给出了一些样品的声学像。     

激光扫描声学显微镜谐波技术的研究

本文将谐波技术应用于激光扫描声学显微镜（ＳＬＡＭ）换能器，提出了提高其工作频率的方法。实验实现了ＳＬＡＭ从１００ＭＨｚ。并就一些样品进行了测试，得到了较满意的声象。