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自动直径控制(ADC)是直拉法单晶制造中的重要环节,本文详细了直拉单晶的直径检测技术,分析其性能差异,对目前单晶炉设备的设计制造有参考作用。 相似文献
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针对8磁极电磁轴承容错控制问题,文中提出了一种基于磁通等效的电磁轴承容错控制方法。该方法首先通过仿真得到磁通的电流-磁通影响系数,利用线性代数理论计算得到电流分配矩阵。当某一个磁极回路发生故障时,利用电流分配矩阵计算重构电流,使8个磁极端面的磁通在故障前后保持不变,即磁通等效,从而实现容错运行。在ANSYS有限元仿真平台进行仿真,用磁通等效方法可以较好地还原故障前的端面磁通和磁力线分布,并计算得到了磁通误差(最大不超过3.2%,绝大部分小于0.5%)和力误差(最大不超过7%,绝大部分小于1.5%),证明了所提出磁通等效容错控制方法的有效性。 相似文献
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大直径单晶生长中稳定真空度和优化气流控制的改进措施 总被引:1,自引:1,他引:0
随着国内大直径直拉单晶技术的发展,一些原先在小直径单晶中并未引起重视的问题,对大直径单晶生长的负面影响日渐显现.大直径单晶对其生长环境有很高的稳定性要求.本文就其中真空度的稳定和气流控制的优化两个方面,提出了改进方案,以提高大直径单晶生长的成晶率和内在品质. 相似文献
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当电磁轴承设计有容错要求时,往往采用磁极独立驱动的方案,磁极的拓扑结构体现更加复杂多样化.本文以8极结构独立驱动的径向电磁轴承为研究对象,对电磁轴承定转子本体模型进行网格剖分,以变分原理和分片差值为基础的数值分析,来确定网格内各点的矢量磁位,得到了不同拓扑结构(全N(S)型、NSNS型和NNSS型)下,电磁轴承定转子磁... 相似文献
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