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1.
实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型.由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型, 已做过深入的研究,但实际的MEMS器件通常都是多层的.本文提出了一种基于力-电压(F-V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型,该模型可进行小信号时域和频域分析, 能为多层梁机电耦合系统的设计带来很大的方便.模拟结果表明,该模型具有较高的精度.  相似文献   
2.
NMOS器件两次沟道注入杂质分布和阈电压计算   总被引:1,自引:1,他引:0  
王纪民  蒋志 《微电子学》1997,27(2):121-124
分别考虑了深浅两次沟道区注入杂质在氧化扩散过程中对表面浓度的贡献。对两次注入杂质的扩散分别提取了扩散系数的氧化增强系数、氧化衰减系数和有效杂地系数,给出了表面浓度与工艺参数之间的模拟关系式,以峰值浓度为强反型条件计算了开启电压,文章还给出了开启电压、氧化条件、不同注入组合之间的关系式。  相似文献   
3.
基元阀在汽轮机进汽阀研究中的应用   总被引:1,自引:1,他引:0  
阀碟型线对汽轮机进汽阀的性能影响很大,本文设计了三种形式的基元阀,通过数值模拟手段研究了阀碟型线对流场的影响;得出了不同阀碟形式的性能.  相似文献   
4.
利用固定化微生物技术强化降解TATB工业废水   总被引:1,自引:0,他引:1  
综述九十年代以来固定化微生物技术用于难降解有机废水治理中的最新研究进展,提出了利用该技术强化降解TATB工业废水的新途径。  相似文献   
5.
徐淮良  蒋占魁 《中国物理快报》2005,22(11):2798-2800
Radiative lifetimes of two short-lived levels (i.e. 4f^8 (TF6)6p^1/2 (6, 1/2)11/2,13/2) in Tb Ⅲ are measured by time-resolved laser-induced fluorescence (LIE) technique with a two-step excitation process. Free Tb Ⅲ ions are produced in a laser-induced plasma. Lifetime values are evaluated with a deconvolution procedure of the timeresolved fluorescence signal with the temporal shape of second-step excitation pulse (about 1 ns). The lifetimes of the 4f^8 (^7F6)6p^1/2 (6, 1/2)11/2 and 4f^8(^7F6)6p^1/2 (6, 1/2)13/2 levels are determined to be 1.9 (2) and 2.0 (2)ns, respectively.  相似文献   
6.
对海面舰船目标类型的识别,通常采用目视判读的方法。由于目视判读的方法不利于大面积侦察任务的快速识别,所以根据海上目标所具有的背景单一、结构复杂的特点,提出了利用小波变换所具有的多分辩率、易于消除噪声、运算方便的特点来提取舰船边缘特征,建立舰船结构特征数据库,实现舰船目标类型的自动判读。试验证明效果很好。  相似文献   
7.
动能反导技术作为新型的反导技术,原理是在拦截弹和目标的相对速度方向上,抛射出大量动能杆条毁伤目标。其核心技术之一就是动能元素的抛撒,特别是定向抛撒。国外研究一般集中针对既定抛撒装置结构的杆条抛撒结果验证性报道,缺乏对杆条抛撒影响因素的详细研究。本文提出了采用周向弧形状药选择区域爆炸驱动中心杆条束定向侧向飞散的动能扦定向抛撒装置方案,设计不同结构参数的杆条定向抛撒装置的试验,研究抛撒结构参数对动能杆的驱动特性影响规律,为新概念反导战斗部设计提供技术帮助。  相似文献   
8.
机载激光扫描不则距接收机中信号处理研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文分析了普通脉冲激光测距接收机的原理,并指出了它运用在机载激光扫描测距时存在的问题。针对激光束扫描时倾角变化带来的回波脉冲幅度和宽度的变化,提出运用滤波器带宽自动控制技术来改善输出信噪比,运用自动修正恒比定时触发技术提高测距精度。实验结果证实,改善效果是明显的。  相似文献   
9.
激光辐照技术是近年来广泛用于半导体工艺中的一种行之有效的技术,已在离子注入的退火、形成硅化物和欧姆接触等方面取得了令人满意的效果。本文叙述用连续式CO_2激光器,在不同的时间内,对MO S结构进行辐照,根据c—v和c—t技术测量照射前后硅片的少数载流子寿命和氧化层中的固定电荷,实验结果表明:照射后硅片的少数载流子寿命明显降低,固定电荷增加。最后对少数载流子寿命降低的原因作了较为详细的讨论。  相似文献   
10.
A novel no-guide light pen type 3D-coordinate measurement system with three sets of position sensitive devices (PSDs) to realize intersection converge imaging is introduced. It is called as the light pen type measurement system, because the measuring head is shaped as a pen with several light sources on it. The structure design, measurement principle and experimental results are presented. The theoretical analysis and experimental results prove that this system has advanced features of simple structure, high automation, and high accuracy, and can be used in the measurement fields of mechanical manufacture, robot, auto, aviation and medicine effectively.  相似文献   
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