小型真空可变电容器的研制

本文阐述了ＣＫＴＢ１００／３．５／５０小型真空可变电容器的设计原理和试验结果。     

用于反应离子束刻蚀的离子源

本文介绍了几种在超大规模集成电路制造中,采用反应离子束刻蚀(RIBE)时所用的离子源。阐述了这些离子源的工作原理、设计参数和一些工艺试验结果,并比较了各种离子源的性能。     

弹性通信量速率控制理论分析

介绍网络流量分配问题的非线性规划模型,应用李雅普诺夫稳定性理论证明了弹性通信量速率控制算法的收敛性,并在系统稳定点得到流经链路单位流量的影子价格,提供了网络资源最优分配的依据。     

离子束流的稳定方法

在离子注入机、离子束蚀刻机、离子束镀膜机等离子束设备中,离子束流的稳定性是一个值得重视的问题。由于束流的不稳定,将会给器件加工及材料的分析研究带来一系列误差。所以对于离子束流稳定方法,尤其是长时间稳定方法的研究,引起了越来越多的关注。影响束流稳定的因素很多,如工作气体流量、阳极电压、灯丝电压、离子源栅极引出系统热变形等。但总的原则,不外乎是利用负反馈的办法,控制影响束流的某     

RS-485网络接口软硬件设计

文章总结和概括了RS－485总线网络通信接口软硬件设计的若干重要方面，涉及负载电阻配置，噪声干扰消除，传输控制，多设备寻址，RS－232到RS－485转换器和软件流量控制等内容。     

用于反应离子束蚀刻的磁控管离子源及其蚀刻工艺

本文介绍国外用在反应离子束蚀刻机上的磁控管离子源的原理,设计方法和性能。还介绍了采用这种源进行的蚀刻结果。     

真空开关管一次封同两次封工艺的比较

引言真空开关管的制作工艺要求较高,目前的制管工艺有一次封同两次封,一次封指在真空炉内焊接、排气一次完成,两次封是在排气台上进行封离。本文主要阐述这两种工艺的具体过程,并比较各自的特点。 1 真空开关管对工艺的要求真空开关管最主要的要求是真空寿命。在国家标准中,真空开关管的寿命计算公式如下     

有机磷光材料的固态阴极射线发光研究

采用有机磷光材料三-(2-苯基吡啶)-铱(Ir(PPY)₃)与无机材料SiO₂复合制成夹层结构器件,用交流电压驱动获得了Ir(PPY)₃主峰位于517nm的发光和主峰位于435nm的蓝色发光.通过分析器件的光谱特性,发现这两个发光峰都是源于SiO₂中加速电子直接碰撞激发有机层引起的固态阴极射线发光.继实现多种有机聚合物材料和有机小分子材料八羟基喹啉铝(Alq₃)的固体阴极射线发光之后,又证实了有机 关键词： 夹层结构器件 有机磷光材料 固态阴极射线发光     

宽形束离子源离子光学系统的一些问题

本文介绍了在溅射应用中的宽形束离子源离子光学系统、工作原理和经验设计数据,并比较了各种离子光学系统的性能及其在低能离子束中的应用。