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葛工 《电子工业专用设备》1997,(3)
简要介绍点光源形成圆弧形光源的方法、实验过程及方案的改进,定性地分析了点光变弧形光的光照均匀性。同时介绍用于1∶1反射扫描光刻机的弧形光源结构。 相似文献
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葛工 《电子工业专用设备》1997,26(3):19-23
简要介绍点光源形成圆弧形光源的方法,实验过程及方案的改进,定性地分析了点光变弧形光的光照均匀性。同时介绍了用于1:1反射扫描光刻机的弧形光源结构。 相似文献
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