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在利用直流光源型半导体位敏器件(PSD)进行测量时,常因环境光强的改变而引起误差。本文介绍的交变调制光源及其相应的PSD光电信号处理电路,可大大地降低和消除杂散光对测量的影响。 相似文献
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位敏器件及在微小位移测量中的应用 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了半导体位敏器件的原理及特点,光切法测量微小位移原理以及利用PSD的光切法测量的有关光路和信号处理电路。该装置可实现对金属及非金属表面位移的非接触测量。 相似文献
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