排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 78 毫秒
1
1.
多晶硅铸锭炉加热室的设计 总被引:1,自引:1,他引:0
加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。 相似文献
2.
1