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1.
介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。 相似文献
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4.
声发射技术作为一种动态无损检测手段,主要实现对材料产生的缺陷进行动态监测及损伤位置的预测。微机电系统声发射传感器在检测材料疲劳裂纹位置和扩展方向上应用广泛,实现其对材料裂纹的3-D动态位移检测,对于无损检测技术的发展具有重要意义。该文提出了一种新型3-D微机电系统声发射传感器,首先对3-D微机电系统声发射传感器进行了结构设计和性能分析,结构方面主要包括z方向响应传感单元和x、y方向响应传感单元设计;其次通过传感器的阻尼、谐振点处灵敏度计算,证明传感器的性能良好;最后采用有限元软件ANSYS对z方向响应传感单元做了模态和谐响应分析,x、y方向响应传感单元做了模态分析和谐响应分析,仿真结果与理论值吻合较好,验证了结构设计的合理性,对实现材料裂纹的三维动态检测具有一定的参考意义。 相似文献
5.
城市土壤热扩散率实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了获得城市边界层能量特征,于2004年7~8月分别在合肥、南京两地采集土壤温度数据,并分析获得两地的土壤热扩散率vg.由于数据采集存在差异,采用不同的处理方式分析数据:采用振幅变化法分析合肥地区水银地温温度计及计算机系统采集的数据,得到其深度15 cm以上土壤层的土壤热扩散率vg值为1.665×10-7~4.687×10-7 m2/s,vg值随深度加深而增加;利用热传导方程设计的差分格式分析合肥(铂电阻地温温度计-计算机采集系统采集数据)、南京浦口两地数据,结果表明合肥土壤深度10 cm处的vg值为2×10-7 m2/s,南京土壤深度5~20 cm之间的vg值为2.1×10-7~6.5×10-7 m2/s,其vg值随深度变化而变化,趋势与合肥一致.最后比较了合肥、南京两地土壤热扩散率vg值的差异,对同一土壤深度,南京地区的土壤热扩散率vg值略大于合肥地区. 相似文献
6.
10M共享式网络组建简单,且维护方便灵活,所以很受广大用户的欢迎。现使用的局域网中,四五年前组建的局域网多为10M以太网。而且以共享式的居多,在拥有大量用户的同时,它也存在许多的问题。 相似文献
7.
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A theoretical study of the kinetics of two-step-excitation upconversion ultraviolet cw fiber laser based on the 4f5d state in Pr3+:ZBLAN is performed using steady population rate equations and light propagation equations. Under different Pr3+ concentrations, the dependence of the threshold pump powers on the other pump power, the variations of laser output power with reflectivity of output coupler, pump powers and fiber length as well as the dependence of the optimum fiber length on pump powers are investigated. The results predict some optimum laser parameters for maximizing output power. 相似文献
10.