大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。     

光学编码器在离子注入机中的应用

具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用，分析了其引起系统位置偏差及故障的原因。     

状态机在离子注入机中的应用

报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。     

带有能量约束的类B\'ezier 曲线的构造

本文提出了一类创新的类Bernstein基函数,这是经典Bernstein基函数的推广.我们分析了这类基函数的性质并定义了带有两个形状参数的类B\''ezier曲线.这类基函数和类B\''ezier曲线分别具有类似三次Bernstein基函数和三次B\''ezier曲线的性质.进一步地,我们构造了带有能量约束的类B\''ezier曲线并考虑了带有极小能量约束的$C^1$和$G^1$ Hermite插值问题.最后,给出了一些具有代表性的例子来说明我们方法的应用性和有效性.     

强流氧离子注入机装卸片控制系统

介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。     

氮窑氧含量巡回检测分析仪程序设计

介绍了一种新型的氧含量检测设备及其程序设计，描述了该设备中使用的监控程度设计算法，该算法吸收并改进了多种流行的监控程序编写算法，实践表明，该算法用于复杂菜单设计是可节约编程时间，减少存储空间的占用。