基于石墨烯的多模式可重构太赫兹微带天线

为了满足通信设备大容量数据传输与设备小型化的需求,提出了一种包括矩形贴片、介质基板和开槽接地板的多模式可重构太赫兹微带天线.基于石墨烯材料在太赫兹波段的电可控特性,将3组石墨烯作为调控开关分布在开槽处,通过控制石墨烯的偏置电压实现开关通断.该天线具有6种频率可重构模式,谐振频率分布在2.652～4.565 THz范围内...     

300mm立式炉温度控制系统研制

针对300mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统。硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成。同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能。温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求,现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。     

适用于Φ200mm硅片工艺的立式扩散/氧化炉设计

简要介绍适用于200mm硅片工艺的立式扩散?氧化炉的几个关键部分的设计要点和控制方法,重点对炉温和颗粒控制方面进行较详细的论述。