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基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。 相似文献
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随着我国基础设施的不断完善,智能电网建设已经初见成效.基于光纤协同的智能电网通讯系统是其"智能化"的根本.然而在将电讯号向数据讯号转变的过程中势必会产生两端的差异,通过对差异的分析能够形成对电网整体运行效果的监控目的.基于上述原理,从光纤纵差的角度下能够形成电网线路的一种全新保护思路.本文将从上述的原理及背景角度入手,对基本的电网线路保护技术进行探讨,希望能够为后续的安全电网建设提供必要的理论基础与实践指导. 相似文献
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