直流磁控溅射系统研究及其维护

通过介绍磁控溅射镀膜系统的原理,分析了磁控溅射系统在溅射镀膜的过程中遇到的沉积速率、沉积均匀性、常见故障等方面的问题,对沉积速率和沉积均匀性的影响因素进行了具体地研究;同时描述了设备在使用过程中经常遇到的一些故障,对这些故障发生的原因进行了详细地分析,根据原因分析给出了故障的具体解决方法;最后,对磁控溅射系统在日常使用过程中的保养和维护方面提出了一些建议。注重日常的保养和维护可大大降低设备的故障率。     

基于FTA的清洗机常见故障分析与维修

介绍了清洗机的基本组成结构和工作原理,以故障树分析法(Fault Tree Analysis,FTA)为基础,通过对以往常见故障的总结和分析,建立了清洗机的故障树模型,实现了对清洗机故障的快速诊断与精准维修,有效缩短了设备故障宕机时间,提高了设备利用效率。