基于CPS的建筑环境数据级检测融合方法

针对建筑环境CPS数据级融合可靠性的问题,采用线性最小方差估计的方法对传统自适应加权融合算法进行改进,不仅减小了均方误差,而且使得融合结果可靠性更高。在数据融合前进行限幅处理,判断数据是否异常,对异常数据的加权因子进行配置处理,既提高了数据的筛选性,又保证了系统数据融合结果的可靠性。仿真实验表明了该方法的有效性。     

基于单片机的频率特性测试仪设计

本文介绍了基于DDS技术的频率特性测试仪的设计方法。在设计中扫频信号源采用DDS芯片AD9851实现,以单片机AT89C52为控制核心,控制整个系统协调工作并实时对所测数据进行处理,LCD显示幅频特性和相频特性曲线,实现了系统的小型化和全数字化。     

连续表面微透镜列阵元件检测

系统分析了连续表面微透镜列阵的几何参量和光学性能的检测方法和评价标准,针对典型的折射型聚焦列阵元件,给出其结构尺寸及光学性能的测试结果,两者结果一致.从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差及光学性能指标来综合评估微光学元件性能的方法.     

激光干涉光刻法制作100 nm掩模

介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自搭干涉光刻实验系统,用257 nm的激光光源实现光刻,得到特征尺寸为100 nm的图形,再经过离子束刻蚀,最终得到周期200 nm、线宽100 nm的掩模。     

基于DAG图的CPS遗传算法任务调度

本文提出了一种基于DAG图的具有双适应度的遗传算法,不但可以找出任务完成的最短时间,还可以有效的提高资源利用率.为信息物理融合系统（Cyber-Physical-system,CPS）构建了新的任务调度模型,充分将计算-控制-通信的理念融入到研究中.采用任务向量矩阵的方式表示调度过程中任务与资源的分配关系,利用分布式计算的思想,解决了传统的通信网络中由于每个节点的独立工作而造成了资源的浪费和分配不均匀的问题.仿真实验结果表明,本算法缩短了任务执行的时间,有效的提高了节点的利用率.     

基于单片机的瓦斯报警器设计

以传感器技术和A／D转换技术作为系统设计的基础,实现瓦斯气体浓度信息的采集以及信号的转换。设计了系统硬件电路,给出相关测试结果,该系统硬件电路简单,控制可靠。     

连续微浮雕面形控制的新方法

建立了抗蚀剂表面曝光量分布与抗蚀剂内部PAC浓度分布之间的关系,通过分析抗蚀剂内部PAC浓度分布特点,发现了抗蚀剂显影过程中的壁垒效应。在此基础上,提出一种新颖的微浮雕面形控制方法——等PAC浓度曲线面形控制技术。该方法克服了抗蚀剂显影模型精度以及显影不稳定性对浮雕面形的影响,使光刻胶上微结构浮雕深度超过100μm,面形均方根误差小于1μm。     

基于合作博弈的CPS通信资源分配算法

为了提高信息物理融合系统的通信速率,同时保证各用户的QoS需求,提出了一种基于合作博弈的CPS通信资源分配算法。将CPS中OFDMA网络下行链路的资源分配过程建模为多用户间的合作博弈,通过求解纳什议价解,实现用户间的Pareto最优性。仿真结果表明,该算法在系统速率最大化和用户公平性上获得了很好的折中,与最大化系统速率算法相比更具有公平性,与最大化最小公平性算法相比速率提高了34%,在一定程度上提高了CPS通信网络的性能。     

部分相干激光匀束器的设计及应用

传统激光匀柬器的设计是假设输人场为完全相干的，但对于准分子激光器等输出为部分相干场的光束匀滑并不适用。利用部分相干场的传输及衍射理论．开展了这一类激光器匀滑的方法研究。推导出部分相干场与完全相干场下激光匀束器的目标像面的关系式，总结出这一类器件的设计方法。仿真结果表明，上述方法设计的匀束器在全相干场下像面出现激烈的振荡，但在部分相干场下得到了理想的平滑输出强度分布。介绍了部分相干激光匀束器在新一代光刻机照明系统、材料加工、激光医疗中的应用前景。     

基于多层膜结构的亚波长光栅研究

利用表面等离子体共振效应理论及金属-介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究. 在曝光光源为365 nm的情况下,实现周期230 nm,线宽100 nm的超分辨光刻成像. 讨论了均匀金属-介质多层膜的结构参数选择,并通过数值仿真得到有效的光强度和对比度, 然后用等离子体纳米光刻进行试验验证,通过最优化选择,最终得到了亚波长结构多层膜的大区域范围超分辨成像.