投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术

分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有的相干峰尖锐特性与高度旋转敏感特性,分别求取得光刻套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的精密量化驱动值。将此算法的实施单元建立在一套成型的大面积投影光刻系统中,使得该系统的对位精度与对位效率显著地提高。     

任意两个相干态的叠加及其量子统计性质

研究了由两个任意相干态构成的叠加态｜ψ〉=a｜β〉+be^iφ｜mβe^iδ 〉的量子统计性质，结果表明此种叠加态普遍存在着压缩效应或光子反群聚效应.叠 加态的量子效应依赖于β²和振幅系数m，同时改变相干态间的位相差δ和叠加 系数间的位相差φ也将对叠加态的压缩效应或反群聚效应起着重要的作用. 关键词： 相干态 叠加态 压缩效应 反群聚效应     

剪切电子散斑干涉技术在金属梁测量工程中的应用

利用剪切电子散斑干涉技术对金属梁的挠曲度进行测量,获得金属梁受不同加载时的位移倒数场,并将其实验值与理论值进行比较,结果表明在一定的加载范围内该方法是确实可行,而且快速,简单,方便。     

基于肤色和几何特征的人脸检测

提出了一种在复杂背景图像中自动检测彩色人脸的方法,这种方法将肤色信息与人脸几何信息相结合,先在YCbCr颜色空间中求出图像中每个像素点肤色的所属隶属度,然后利用人脸的几何信息通过椭圆提炼和拟合人脸。实验结果证明这种方法能够在复杂背景中有效地检测出人脸。