超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测

本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应的圆片加工区的空气含尘浓度C值。