切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计

径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。     

划片机工作台直线度的设计与实现

依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。     

HP—602型精密自动划片机误差分析与精度分配

分析划片机各种精度误差对ＩＣ晶片划切质量的影响;分配划片机各功能部件精度。     

用行列式性质对有关网络拓扑结论的证明

本文提出:(一)用行列式的基本性质直接证明不定导纳阵列式各元代数余子式都相等的方法,(二)用分块行列式证明A_i、A_j大子式积公式的简单方法。由于直接用基本性质,因而过程直观简单,教师易教,学生非常容易接受。     

划片机气静压电主轴热变形的有限元分析

分析划片机气静压电主轴的发热和热传递;建立气静压电主轴的热-应力有限元分析模型,用ANSYS软件计算主轴的温度场分布及主轴的热变形值。根据计算结果,提出减小主轴热变形及消除热变形造成的加工误差的措施。     

划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究

划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。     

高速空气静压电主轴的振动及控制策略

从主轴的结构和工作机理出发,分析气锤振动、受迫共振、机械振动及电机不平衡磁拉力等引起主轴振动的关键因素,依据分析结果提出减小或消除主轴振动的措施。     

砂轮划片机刃具修整数学模型分析

从划片机的划切机理出发建立数学模型 ;用数学的方法定性、定量分析划切过程中未修整刃具对划切质量的影响。摸索刃具修整的合理方式 ,提出刃具内孔配合间隙的实用数据。     

WQ—502型自动外圆切割机

ＷＱ—５０２型自动外圆切割机电子工业部第４５研究所黄克飞，王明权概述ＷＱ—５０２型自动外圆切割机是参阅瑞士ＴＳ４型大片自动外圆切割机的设计特点，根据国内使用厂家的要求设计的一种新型切割设备。该机可广泛用于光学玻璃、磁性材料、石英、陶瓷、冰洲石等脆硬晶...     

全自动划片机的关键技术研究

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。