排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 218 毫秒
1
1.
金刚石高成核选择比图形化技术 总被引:4,自引:1,他引:3
报道了一种新的金刚石薄膜选择生长图形化技术。首先用直流偏压增强的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)对图形区域(Si)高密度金刚石成核,接着对掩模区域(SiO2)进行一次化学浅腐蚀,然后正常生长金刚石薄膜,得到表面光滑、侧壁陡直的金刚石精细图形。用该技术制作了金刚石微马达结构,其厚度为2μm,转子直径150μm。图形间隙可控制至1-2μm。 相似文献
2.
3.
(一)前言 目前,我国中小规模的数字集成电路的应用已相当广泛。不但在各种数字计算机中大量应用,而且在各种数字式仪表、自动化仪表及程序控制中也得到了相当广泛的应用。在数字电路的推广和应用中,电路的测试,测试设备的设计和制造是一个十分关键的问题。在生产数字电路的工厂中,由于要对质量进行控制,要对出厂产品进行分类和检验,所以必须对元件进行测试,在电子仪器的生产单位中,需对上机的数字电路元件进行老化筛选和测试,以提高电子设备的可靠性,在一些研究单位中,在研究和调试的过程中,更需对元件进行测试,以决定元件性能的优劣,以找出故障及问题所在。单位 相似文献
4.
一、概述程序控制线切割机床是依靠火花放电产生高温使金属熔化而进行机械加工的一种机床.该种机床主要由两大部分组成:床身及加工程序控制柜.床身上装有作为刀具的钢丝和可作x、y两个方向运动的工作台,座标工作台的运动靠步进电机拖动.加工时,钢丝的位置不动,工件随着工作台运动.加工程序控制柜控制工作台运动,就可加工出符合要求的工件来.因这种机床能加工出其它机床无法加工的繁杂工件,所以,程控线切割机在机械加工中得到广泛的应用. 相似文献
1