基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器

在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器.模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据.在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40 mm,气隙厚度为50 μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6 V、100 Hz时,灵敏度高达-25 dB,在通频带(20～800 Hz)局部平坦.